晶圓製造

Denton Vacuum - 等離子體線性離子束專利
等離子體線性離子束專利 Denton Vacuum的線性高能射頻等離子體離子源技術最近獲准美國專利號10,815,570。該源設計為大面積無燈絲源,與高吞吐量直列式濺射系統完全兼容。 ..
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等離子體線性離子束專利 Denton Vacuum的線性高能射頻等離子體離子源技術最近獲准美國專利號10,815,570。該源設計為大面積無燈絲源,與高吞吐量直列式濺射系統完全兼容。 ..
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