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Teltec Pacific專為亞太地區的半導體業、電子製造、光電業及各大科研機構提供設備、材料以及技術支援、銷售與服務。

OAI - 曝光機 / 光源/ 光功率計及分析

OAI是業內生產可靠並精密設備的MEMS,半導體,納米技術,潔淨室自動化和紫外線光測量的領先製造商。OAI系統可同時用於研發和生產半導體,MEMS和微流體裝置。從光罩對準和UV光源UV電力儀表,OAI是在同行業中的領先者超過40年。

 

OAI Series 6000 生產型曝光機

 

全面的曝光系统

 0.5μ 精確正面對准
 1μ 正反面对准
 高產量:170 WPH in 1st Mask Mode
 均勻性優於±3%
適用於各種規格的晶片
 自動平衡補償
  適用於超強工藝的重復性要求
  亞微米分辨率

 

 

 

 

OAI在MEMS和微流體裝置方面的產品主要包括 :