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FSM - 應力及厚度在線量測系統

 


美國 Frontier Semiconductor (FSM)
應力及厚度在線量測系統

 

Frontier Semiconductor,Inc (FSM)為半導體,LED,太陽能,平板顯示,數據存儲和MEMS應用提供一系列先進的產品測量和解決方案。 FSM在應力測量,薄膜粘附力測試,晶片形狀測量和電性表征方面有超過25年的經驗。 最新的產品具獨特的技術,以滿足3DIC制造的計量需求。

 

在線量測 (INLINE METROLOGY) - 薄膜應力及晶圓彎曲度

Frontier Semiconductor (FSM) 率先推出了專利的LASER OPTICAL LEVER(Optilever) 技術並將其商業化,現在廣泛應用於薄膜應力和晶片彎曲測量。

 

FSM 900 系列

新型材料在高溫下很容易氧化。他們還容易產生氣體及發生物質變化,FSM 900TC-Vac 型號給工藝提供了一個封閉的加熱腔。它可以應用於完全的充氣環境或高真空的模式。

集成化的 FSM 900TC-Vac 系統可以快速協助新材料處理熱穩定和熱負載。

• 溫度范圍: 可達9000C (200mm 及 300mm晶圓)
• Thermal Desorption Spectroscopy (TDS -系統可以起獨立的TDS作用
- 分析整個或破損的晶圓,監測在溫度循壞內的各種各樣的氣體排放。
• 低K,銅和其他薄膜材料的表征
• 溫度高達9000C
• 在真空或惰性氣體中操作

 

 

FSM 128 系列

所有FSM 128 系列都可以配备自动平均基板厚度测量功能,以评估用于应力评估的输入晶圆。

• 128NT : 可以測試200mm以下的晶圓
• 128L :可以測試300mm以下的晶圓
• 128G :可以測試450mm以下的晶圓
• 128 C2C: 彈夾到彈夾的全自動設備,可以測量300mm以下的晶圓
• 半導體和平板應用的弓型和球型薄膜應力繪圖
• 非接觸全晶片應力繪圖
• 雙波長激光器交換技術

 

 


尺寸精度量测 (DIMENSIONAL METROLOGY)

無損的光學探頭檢測晶圓厚度,TSV,bumps 和其他需要測量的需求。

 

FSM 8108 VITE 系列 

• 晶圓的厚度,薄膜的厚度及TTV
• 絕對厚度,形狀,翹曲
• Si, GaAs 等
• 磁帶,玻璃,藍寶石 等
• 多種材料的Stacks
• Through Silicon Via (TSV) - 顯微鏡下可選 TSV的測量及Trench 深度測量
• Bumps 的高度測量
• 可選粗糙度的刻蝕或拋光的晶圓的測量
• 可選薄膜厚度的測量

 

FSM 413 系列

• 使用非接觸式的測量方式來量測基板的厚度
• XY方向精度達到0.5微米
• 自動化的系統
• 可編程的系統
• 可測量TSV和Bump
• 用微波形式測量硅的深度
• 極佳的穩定性及重復性

 

FSM 拉曼優勢

創新技術及工具自動化

• 帶領技術創新的緊湊型量測系統
• 用於設備分析方面,性能優越的光譜分辨率 (0.1cm-1)
• 由1988年開始,在晶圓工廠自動化中成功地控制測量技術