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Bruker - 光学轮廓仪/台阶仪/FTIR

美国Bruker(前Veeco)
AFM、FTIR、纳米压痕系统、光学轮廓仪及台阶仪
美国Bruker公司(前美国Veeco)是世界顶尖原子力显微镜,光学轮廓仪,台阶仪生产厂家。全球顾客包括半导体、化合物半导体、数据储存,与多重领域的研究机构。Bruker为了维持对高科技产品成长的领先地位,持续推出新产品,期望为顾客提供长期的产品优势,提升生产良率、增加生产力、提高品质及降低使用成本。

 


 

Ultima活体多光子显微镜系列

快速、灵活的活体深层成像平台
更深 (970um)、更快 (45FPS@12KHz)、更清楚、并适合大动物成像。

 

 Ultima活体多光子显微镜应用:
• 活体成像
• 神经的在体成像
• 行为模式的在体成像
• 光激活

 

Ultima IntraVital
 主要用于从小鼠到猕猴的活体成像,提供了优异的成像深度和成像速度。Ultima IntraVital拥有以下特质:

• 高速3D成像
• 误差小于20 nm的光刺激精准控制
• 物镜下适合对大动物进行操作的无障碍空间
• 样品保持静止,显微镜和扫描单元可XY方向精确平移
• 可无缝整合第三方行为控制和电生理记录设备
• 可灵活升级透射光路和桥式载物台

 

Ultima InVitro
采用经典的正置或倒置显微镜设计,主要用于脑片等组织切片、培养细胞的观察,或小鼠的在体观察。典型的Ultima InVitro应用包括神经信号传导、组织结构性质变化、蛋白运输和细胞内离子动态观察。

 

Ultima Investigator
采用正置显微镜设计,是最具性价比的Ultima多光子显微镜系统。

功能强大的基础配置:
Investigator配备了科学家进行大多数研分所需要的一切配置,包括扫描振镜、正置显微镜平台、电动Z调焦装置、激光导入和整形光路、两个荧光通道光路/PMT、模拟输入和输出电路、高性能工作站,以及全功能的Prairie View软件。

灵活的升级配置:
Ultima Investigator提供了大量 升级选项,用来满足最具挑战性的实验需求。

 

Prairie View软件 (一键设定的成像模式)
• 线扫成像
• ROI成像
• 全视野光激光
• 点状或者螺旋状光刺激
• 延时体成像
• Z轴层切
• 多维成像
• 大视野拼图成像
 

 


 

Vutara 350 超高分辨率显微镜
世界上最快的超高分辨率显微镜
活细胞、高速、超高分辨率、3D成像
分辨率20nm@XY, 50nm@Z,
采用单分子定位技术,单层扫描时间10秒钟。

 

升级选项包括:

• 激光器
• 多色成像模块
• 活细胞培养装置
• 物镜
• 全内反射成像模块(TIRF)

Vutara SRX软件功能:
 
实时渲染微管结构的超高分辨率图像结果。不同颜色表示不同的Z轴位置信息。
 
Z轴定位信息 (共测量28个
TetraSpeck荧光微珠,12nm的定位精度)。
不同通道的共定位精度为:
X=6nm,Y=4nm,Z=5nm。
 
 
高速灵敏 并行处理
 
超高速三维空间颗粒追踪
 
单分子定位
 

 

Opterra II 多点扫描激光共聚焦显微镜
灵活高速定量的细胞成像系统

应用:
• 提供了扫描速度、分辨率和检测灵敏度的最灵活选择
• 最佳的视场均一性,更适合定量分析
• 最低的光漂白/光毒性,无论再敏感的样品均可进行三维的动态成像
 

 

海绵胚胎,40倍物镜,561nm激光激发,采集56个Z轴切片,切片间隔2微米,完成整个Z轴序列耗时一分钟。  

 

胰腺瘤切片,3D大视野拼图,六十倍物镜成像视野。
2mmx1.5mm
 

小鼠输卵管切片。

 


 

Dimension FASTSCAN 原子力显微镜 (新一代高成像速度AFM)
Dimension FastScan™ 原子力显微镜(AFM)将AFM的性能应用在高分子、半导体、能源、数据存储及材料领域等奈米级研究。在不损失超高的分辨率和卓越的仪器性能前提下,最大限度的提高了成像速度。这项突破性的技术创新,从根本上解决了AFM成像速度慢的难题,大大缩短了各技术水平的AFM用户获得数据的时间。当您对样品进行扫描时,无论设置实验参数为扫描速度 > 125Hz,还是在大气下或者溶液中1秒获得1张AFM图像,都能得到优异的高分辨图像。快速扫描这一变革性的技术创新重新定义了AFM仪器的操作和功能。

Dimension FastScan™ 原子力显微镜(AFM)是Dimension家族产品中的最新成员,以世界上最广泛使用的AFM平台为基础,Dimension FastScan™ 的温度补偿定位传感器使Z 轴的的噪音水平达到亚-埃米级,X-Y 方向达埃米级,在空气或液体中成像速度是原来速度的100倍,自动激光调节和检测器调节,智能进针,大大缩短了实验时间。在大样品台、90 微米扫描范围系统的仪器当中,这种表现是非常突出的,优于绝大部分的开环、高分辨率AFM 系统的噪音水平。

Dimension FastScan™ AFM具有对大样品的自动成像能力,使之在半导体和数据存储设备的制造过程中广泛使用,它能够测量直径达200 mm的样品上测量100多个区域。它具有原子力显微镜和扫描穿隧式显微镜的全部配置,可以在三维尺寸上探测缺陷、测量表面粗糙度和其他特征,测量过程对样品无损伤并且无需对样品进行预处理和修饰。

 

(1) Scanning Capacitance Microscopy (SCM)扫瞄电容式显微镜
主要利用样品(一般为半导体)表面多数载子(电子或电洞)的变化来成像,于针尖和样品之间施加一交流偏压,针尖在样品表面进行扫瞄,藉由一超高灵敏度、高频震荡电路来监测针尖和样品之间的电容改变。SCM普遍运用于半导体制程中分析二维掺杂量分布和缺陷。

  

 

(2) Conductive AFM (C-AFM) 导电式原子力显微镜之电流
主要分析中、低导电度半导体的导电度变化。 CAFM 作为一般用途的量测时,使其电流范围可从fA到mA,并使用导电探针,在一般操作下会施加直流偏压于针尖上而让样品接地。当运用z回授讯号来产生接触式AFM影像时,电流会流通针尖和样品,藉以产生导电性的AFM影像。   

 

(3) Scanning Spreading Resistance Microscopy (SSRM)扫描扩展电阻式显微镜
专利之扫描扩展电阻式显微镜Scanning Spreading Resistance Microscopy (SSRM)是从Contact mode AFM衍生出的第二成像机种,主要作为半导体材料中二维载子浓度分布(电阻)成像之用。当施加直流偏压于针尖和样品之间,同时间一导电探针以接触方式扫描样品,并以10pA到0.1mA的对数电流放大器来量测针尖和样品之间所产生的电流。  

右图为InP异质结构的SSRM影像,右图为Contact mode AFM影像(扫描范围为7mm) 由Lucent Technologies提供。在SSRM影像中的对比清楚地呈现异质结构的不同区域:锌掺杂p-型层和S掺杂的n-型层。

 

(4) Surface Potential表面电位
Surface Potential (SP)表面电位成像,是从Tapping Mode衍生出的第二成像模式,利用样品表面的静电位来成像。当针尖于Lift Mode 下行经样品表面上方,由于针尖和样品表面各个位置的电位是不同的,所以悬臂和针尖会有一作用力,藉由变换针尖上的电压使得针尖上的电位和样品的表面电位维持一致来抵销作用力, SP影像用来侦测和定出接触电位的差异(CPD)。 

右图为CD-RW Tapping mode量测图而左图为Surface Potential影像,只有在Surface Potential的影像中可呈现出bit(5µm扫瞄范围) 。。

 

ContourGT 产品系列 - 表面量测系统
- 供生产QC/QA及研发使用的非接触型光学轮廓仪
ContourGT™ 系列产品结合先进的64位、多核心运作及分析软件、专利的白光干涉仪(WLI)硬件,以及前所未具简易操作度、为目前所开发最先进的3D光学表面轮廓仪。ContourGT 系列产品中包含有旗舰级ContourGT-X、进阶级ContourGT-I及入门等级的桌上型K0。每款机型可提供多种加工与制造业市场上各种应用范围 (包括高亮度LED、 太阳能、眼科、 半导体及医疗装置等)。 NPFLEX为大尺寸工件精密加工提供非接触准确测量。

ContourGT-K0

ContourGT-I

ContourGT-X

NPFLEX

Bump球高度、圆度测量

打线后的芯片

铜线封装–
打线最深测量及铝溅高测量

Laser Marking 最深测量

 

 

 

Contour GT-I配备倾斜调整支架、自动样品台和多物镜自动塔台,实现全面、精准的表面测量任务,满足科研和生产各领域检测需求。Contour GT-I采用Bruker专利的抗震测量技术,及节省空间高稳定性的基座设计,保证在生产车间测试环境条件非常苛刻的情况下,也能完成准确高效的产品测量。

配AFM功能以实现1万倍放大倍数

 

UMT机械性能测试仪
CETR-UMT是唯一一个能够在单一平台实现所有三种检测类型的仪器,主要包括球-盘,针-盘,盘-盘,环-盘和四球的旋转运动;线性运动的球-盘,针-盘,盘-盘,环-盘及交叉柱;和密封轴承的快-环。

盘 / 盘模块

配备1000˚C高温腔的盘/盘模块

配备300˚C高温腔的往复式模块

纳米压痕模块

 

* UMT-1 纳米材料和薄膜的纳米级,微米级力学综合性能测试,载荷范围:1微牛顿 - 10牛顿
* UMT-2 显微材料和涂层的微米级力学综合性能测试,载荷范围:1毫牛顿 - 200牛顿
* UMT-3 金属,陶瓷材料和润滑油宏观尺度力学性能测试,载荷范围:0.1牛顿 - 1000牛顿

 

 

傅氏转换红外线光谱分析仪系统 (FTIR)

- 利用红外线光谱经傅利叶转换进而分析杂质浓度的光谱分析仪器

技术参数:
1. 分辨率: 0.5cm -1,可升级至0.25cm -1
2. 信噪比优于40,000:1 (一分钟测试)
3. 专利ROCKSOLID干涉仪,抗震性能优,免维护
4. 可以连接红外显微镜、热失重,气相色谱、振动园二色
5. 远红外、中红外、近红外多波段测量

红外显微镜测量样品前,
需在样品上定义感兴趣的区域