晶圓內應力測量系統

PVA TePla - 晶圓內應力測量系統
SIRD™ 晶圓內應力測量系統 A300SIRDTM A300 使用的消偏振成像儀是一種用於半導體材料機械應力場描述的非接觸、無損評估工具。由於半導體材料的光彈性效應,應力場引起雙折射現像。SIRDT..
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SIRD™ 晶圓內應力測量系統 A300SIRDTM A300 使用的消偏振成像儀是一種用於半導體材料機械應力場描述的非接觸、無損評估工具。由於半導體材料的光彈性效應,應力場引起雙折射現像。SIRDT..
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