Kainova Tech - 晶圓移載自動化

 

 

凱諾科技Kainova為鴻海科技集團旗下上市公司半導體設備績優大廠京鼎精密科技於2019年成立之全資子公司,核心成員為京鼎之半導體設備資深研發團隊。全球領先之3納米晶圓製程微污染防治技術先驅及半導體前段自動化設備專業廠。 20年的設備研發經驗,結合母公司豐富製造能量,開創半導體設備之創新營運模式。

 

 
 
晶圓分類機 (KAR-211)
 
設備特色
. 2~8 Load Ports;內建Load Port N2 Purge
.依流程Recipe需求,依照Wafer ID進行排序、分批、併批、或傳到指定晶圓盒位置
. 5軸雙夾爪Robot高速移載無須Track,精度高速度快
. FFU風速與微正壓可控,內流場經CFD分析設計,確保下沉氣流為均勻層流
.相容於8吋、12吋、薄化晶圓;雙面晶圓刻號讀取
.對應SECS/GEM
.對應SEMI E84 OHT取放交握
. SEMI S2 認證
 
性能規格
.傳片速度:700 WPH以上
.傳片精度:±0.05mm
. ISO Class 3潔淨度(FS-209E Class 1)
 
 
 

 

 

 
晶圓外觀檢查設備 (KMM-332)
 
設備特色
.晶圓宏觀目視檢查及微觀顯微鏡檢查雙重機能
.宏觀檢測:搖桿控制馬達驅動翻轉機能,雙面檢查角度>45度,並記錄缺陷位置
.微觀檢測:1000倍顯微鏡檢查,附CCD取像裝置,並記錄缺陷位置
.多重晶圓載入機制:1站晶圓堆疊盒(Coin Stack Box)/3站前開式出貨盒(FOSB)
.多重檢查流程:依Recipe設定流程
.內建晶圓緩衝站,連續檢查不塞貨
.雙Robot 取放料, 傳送速度快
 
性能規格
.單片傳送時間:<30 Seconds
.平台定位精度:±2um
. ISO Class 4潔淨度(FS-209E Class 10)

 

 

 

 

 
SCUBA®-Load Port N2淨化系統
 
规格
►流量計控制,最高200 SLPM
►高純度濾鏡 99.9999999% @>0.003um
►SECS 通訊
►淨化性能: 經過2min淨化濕度<10%
►配備溫度與濕度感測器
►適合所有品牌的 Load Port TDK, Sinfonia, Hirata, Brooks/Asyst, Rorze
►O2 檢測(可選)
►SCUBA® 系統已證明的優勢
►SCUBA® N2淨化系統對Load Port的益處
►將現有 load port 升級成為 N2 淨化 load port
►在整個品圓製程中提供 AMC保護
►證明具有提高良率與生產力的性能
►由CIM控制且能夠透過FDC監控
 
 

 

 

Kainova Tech - 晶圓移載自動化

  • 品 牌 Kainova Tech
  • 型 號 Kainova Tech - 晶圓移載自動化
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