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凱諾科技Kainova為鴻海科技集團旗下上市公司半導體設備績優大廠京鼎精密科技於2019年成立之全資子公司,核心成員為京鼎之半導體設備資深研發團隊。全球領先之3納米晶圓製程微污染防治技術先驅及半導體前段自動化設備專業廠。 20年的設備研發經驗,結合母公司豐富製造能量,開創半導體設備之創新營運模式。
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EUV/OPT 光罩護膜貼合設備 (KAM-201)
設備特色
.可同時對應EUV與OPT兩種光罩護膜貼合需求
.高潔淨型6軸機器手臂全自動移載Reticle及Pellicle,配置自動換爪系統
.影像對位補償與貼合站主動式平行度調整機制,確保貼合精度
.貼合精度自動檢驗功能
.特殊光源AOI檢查Pellicle外觀瑕疵
.對應AMHS(SEMI E87,E84)自動取放並自動開盒
性能規格
.貼合後光學變形量<2nm
.貼合精度:±0.1mm
.貼合壓力:0.035~0.4 kN
.超潔淨環境控制能力:Particle >100nm,0 EA
EUV/OPT 光罩移載設備 (KAX-311)
設備特色
.依製程指定,執行光罩旋轉、翻面與換盒等作業
.可對應各種光罩盒(RSP150/200/Dual)
.光罩盒充填氮氣,確保盒內保持低濕、低氧與高潔淨度環境
.對應AMHS(SEMI E87, E84)自動取放
.具備Pellicle方向正確性判斷
.自動識別EUV與OPT光罩方向(0/90/180/270, flip/non flip)
性能規格
.超潔淨環境控制能力:Particle >100nm,0 EA
.光罩換盒移載速度:<3 min