以色列 Camtek - 自動晶圓光學檢測系統
以色列 Camtek - 自動晶圓光學檢測系統

Camtek專業於設計、研發、生產以及主導高科技且符合成本效益的自動晶圓光學檢測設備(AOI)和相關軟體產品，以提高及加快生產過程和產能。Camtek致力於爲電子封裝的各個領域提供優秀產品，擁有尖端的影像處理科技Camtek能針對各方不同需要，提供量身定做的解決方案，已在全球50多個國家銷售超過4000套檢測系統。

 

Eagle系列
第八代高產量檢測和測量系統
 
爲支持半導體行業從研發到高產量環境而設計，Eagle系列是檢測和測量的理想選擇， 適用於解決最苛刻的市場應用和新興的先進封裝檢測。
 
 

 隨着全球數以百計Eagle系統的安裝，Camtek將繼續保持在半導體行業自動晶圓光學檢測方面做爲領跑者地位

新設計平臺亮點：
• 全新設計的平臺，實現高產能和高精度雙重保證
• 採用更高分辨率的光學部件
• 先進的圖像處理和精細設計的算法
• 靈活的軟件設計  
• 可選的雙手臂取片設計，同時兼容了Bare Wafer 和Frame Wafer
 
高產能的2D檢測解決方案：
• 晶圓製造 Litho、Etch、CMP的 inline Macro缺陷檢測
• OQC
• 探針針痕檢測
• 做凸塊前和凸塊後的缺陷檢測
• 晶圓切割後缺陷檢測
• 挑揀後，晶粒重建晶圓的檢測
 
特殊應用:
• CMOS圖像傳感器 - 爲最小尺寸的Pixel提供先進的解決方案
• MEMS – 配合客戶需求，提供專有的解決方案
• LED - Yield改善的解決方案
 
 
 

 
EagleT-AP 型號
整合了2D和3D檢測和測量於同一平臺內，保證在高性能下實現極高產能水平。
• 下一代凸塊，高度直到2um。
• 超多數量的凸塊檢測和測量(5千萬)。
• 凸塊直徑和表面缺陷的檢測。
• RDL測量和高度的檢測。
• TSV post-via-fill突出物檢測(凸起)。
• 2D檢測：粒子，小裂縫，小劃痕，PM，墨點，污染，污跡等缺陷。
• 2D量測：Bump，RDL，Pad，UBM，Via的直徑、寬度、長度和位移。
• 3D量測：Solder, Gold, Lead-free, Pillar, Copper, Micro bumps和Nails的高度、共面性、以及PR/PI厚度和Via開口的深度。
• 可編程彩色濾光片與可獨立控制的暗場和亮場的光源系統相結合，加上精細設計的算法能取得最佳缺陷感知靈敏度，並提供最佳的產能。
• 可選雙臂式機械手臂。
• 優秀的多重倍率組合，實現高TPT與檢測平衡。
• 根據Die內不同區域的檢測要求，智能化分區，並採用不同的算法和參數，實現更精準的缺陷檢出。
• 在一個掃描週期內，能連續運用不同的對焦點，不同的倍率，不同的光照選項，設定不同的檢測靈敏度和算法引擎，實現高精準缺陷檢出。
• Tool Matching: 允許在不同機臺上運行同一個工作 (同版本軟件)。
• 可進行在線和離線的工作設定，交互式自動程序，便於區域的定義。

 

EagleT-AP Plus 型號
此機專爲先進封裝的需求而設計，在提供超強算法的同時，也保持極高的性能與產能。
• 每片晶圓可超過6千萬個Bumps
• 可進行100% Bumps高度的測量
• Bump大小：2-250微米
• 可測任何類型及大小的CD或疊片
• 可測Die的偏移
• 可做EBR計算
• 可進行自動設置與校準
• 可做超高產能配置
• 可生成高深形貌
• 可做層厚測量
 
性能：
• 可測Bump的高度、共面性、PR/PI的厚度（需開槽採用面到面的算法）
• 專用三解測量儀 (Camtek Triangulation Sensor (CTS) ) ：高速三維掃描
• 專用共聚焦傳感器 (Camtek Confocal Sensor (CCS) )：三維高精度形貎測量
• 專用光干涉輪廓儀 (Camtek Light Interferometer Profiles (CLIP) )
 
 
 

 

Eagle-i / Eagle-i Plus 型號
爲半導體工業從研發到高產量的環境需求而設計。
 
• 2D檢測：粒子，小裂縫，小劃痕，PM，墨點，污染，污跡等缺陷。
• 2D量測：Bump，RDL，Pad，UBM，Via的直徑、寬度、長度和位移。
• 可編程彩色濾光片與可獨立控制的暗場和亮場的光源系統相結合，加上精細設計的算法能取得最佳缺陷感知靈敏度，並提供最佳的產能。
• 雙臂式機械手臂。
• 優秀的多重倍率組合，實現高TPT與檢測平衡。
• 根據Die內不同區域的檢測要求，智能化分區，並採用不同的算法和參數，實現更精準的缺陷檢出。
• 在一個掃描週期內，能連續運用不同的對焦點，不同的倍率，不同的光照選項，設定不同的檢測靈敏度和算法引擎，實現高精準缺陷檢出。
• Tool Matching: 允許在不同的機臺上運行同一個工作 (同版本軟件)。
• 可進行在線和離線的Job設定，交互式自動程序，便於區域的定義。
 
 
 

  

 

 

 

 

以色列 Camtek - 自動晶圓光學檢測系統

  • 品 牌 Camtek
  • 型 號 Camtek Israel - Automatic wafer optical inspection system
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