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美國Bruker公司是世界頂尖原子力顯微鏡，光學輪廓儀，臺階儀生產廠家。全球顧客包括半導體、化合物半導體、數據儲存，與多重領域的研究機構。Bruker爲了維持對高科技產品成長的領先地位，持續推出新產品，期望爲顧客提供長期的產品優勢，提升生產良率、增加生產力、提高品質及降低使用成本。 |
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FastScan Pro 原子力顯微鏡
用於工業研發的自動化納米計量AFM
Dimension FastScan Pro ：生產型快速掃描原子力顯微鏡
Dimension FastScan Pro 提供當今工業界相當快速的掃描和豐富的性能測量。該系統支持全自動或半自動測量，同時具有易操作性以及滿足實現質量控制、質量保證和故障分析的低成本要求。
生產多功能性
FastScan Pro 利用開放性平台、大樣品或多樣品平台以及各種易用性功能，爲工業 QA、QC 和 FA 部門提供靈活的高性能納米級計量。該系統可用于半導體界、硬盤界、HB-LED業界 的 2 英寸至 12 英寸晶圓的自動測量。它具有增加的 XY 方向行程，可完全訪問 200mm 晶圓或直徑爲 200 mm 的面積中的多個樣品中的多個區域，並配有 300 mm 晶圓的可選樣品台。該系統還提供用于形貌、粗糙度和其他計量參數的分析。擁有可更換的高速FastScan 掃描頭以及具有 90μm 掃描範圍的 Icon 掃描頭（用于更大的掃描和高精度地形性能）。。
强大的自動化軟件
AutoMET™ 的測量流程軟件提供操作簡單、快速、全自動、以及關鍵的質量控制參數。該軟件允許在多個樣品或單個大型樣品上進行多點自動測量。它還提供光學和 AFM 圖型識別、探針針尖中心化、空白晶圓和圖形化後晶圓的測試，以及數十納米範圍內的圖像位置對准精確度。全面而簡單的測量流程編寫使高級用戶在在線和離線軟件的應用中跟快捷、有效。
強精確控制探針於樣品之間相互作用
獨特的原子力顯微鏡技術可以控制探針和樣品之間任何壹點的範德華力。這種精確的探針和樣品之間的力控制允許將機器用在廣泛的樣品類型上，從軟聚合物、薄膜和電氣樣品到硬材料。它還提供最低的可用于成像的力，探針壽命超過數百次掃描和數據收集。
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FastScan Pro |
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輕鬆建立測量流程，使工程師能夠按名稱定義測量位置、以及測量方式和每個位置的測量次數 |
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流程測試窗口，顯示基於晶圓的分佈，用於 |
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Dimension FastScan Pro 圖例 | |
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由于探針振蕩中的阻尼效應，使用經典的成像模式很難對深溝槽結構進行成像。峰值力模式可以掃描到深溝槽結構的底部，在此示例中，利用了布魯克標准探針深65納米，寬50納米的線和溝槽進行了成像 |
極平樣品：玻璃基板，
粗糙度低
Rq=0.194nm,
Ra=0.153nm
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Dimension Edge爲前沿學術研究提供最佳解決方案
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使用 Dark Lift 掃描電容顯微鏡獲得精確的
SRAM 樣品二維摻雜影像。圖像尺寸：15μm
切口測試結構的閉環模式形貌圖，展現了雙波紋狀溝槽內的連接孔。利用 Dimension 掃描器與 FIB 探針結合可對此類非常具有挑戰性的
幾何形狀進行測量，而不會損壞探針
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電學表徵 Dimension Edge把AFM探針連接到低噪音電流放大器上，開發了Dark L模式，Dark Lift是利用導電原子力數據，把光電效應從樣品的本征電導性中清晰分離的唯壹方法。Dark L基于布魯克專利的Lift Mode, Lift Mode廣泛應用于磁力顯微鏡和靜電力顯微鏡。系統利用這兩種性能確保靜電電勢成像時可以獲得最佳測試結果。結合了DarkL和閉環掃描（常損耗量）的掃描電容顯微鏡(SCM),迄今爲止仍然是對摻雜濃度表征的最佳解決方案。如果研究者想要在最高靈敏度下探測小電壓的變化也可將L憤Mode與表面電勢顯微鏡結合，輕松獲得目標數據。Dimension Edge系統能夠爲任何靜電電勢成像和檢測，提供最好的解決方案。
檢測環境多樣性 Dimension Edge還可在力學性能表征和材料成像上提供獨特的應用解決方案。加熱/冷卻附件，能夠在．35 ℃到+250 ℃溫度範圍內，控制測量條件，研宄樣品的結構和特性。還可以用最高400 ℃局部加熱進行納米級熱分析。生物樣品可以在液體配件中進行簡易有效的原位測量。系統的三軸閉環控制確保了精確的力學測量，具有熱調諧校准探針彈性常數功能，和液態中共振峰識別的功能。
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