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美國Bruker公司是世界頂尖原子力顯微鏡，光學輪廓儀，臺階儀生產廠家。全球顧客包括半導體、化合物半導體、數據儲存，與多重領域的研究機構。Bruker爲了維持對高科技產品成長的領先地位，持續推出新產品，期望爲顧客提供長期的產品優勢，提升生產良率、增加生產力、提高品質及降低使用成本。 |
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探針輪廓儀 Dektak Pro® 探針輪廓儀採用革命性的臺式設計，可實現單納米高度及4Å無與倫比的重複精度。這一測針輪廓儀性能的重要里程碑是Dektak®五十多年來創新和行業領導地位的結晶。通過結合行業首創，Dektak Pro 提供了極致的性能、易用性和價值，以實現從研發到QC的更好過程監控。 Dektak Pro的技術突破使微電子、薄膜、生命科學行業能夠進行關鍵的納米級表面測量。 原理：台階儀採用接觸式測量方法用針尖掃描樣品表面檢測形貌
• 探針壓力1-15mg，可選配最小探針力達0.03mg
• 自對準換針工具使得換針操作簡單無風險
• LIS3 低慣量LVDT 傳感器
• 智能電子設備減少高精度測量中的誤差和不確定性
• 單拱門設計使系統更穩固可靠
• Vision 64 系統顯著加速簡化數據分析過程
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 Dektak Pro |
大面板測量系統-- 綜合測量用於高產量，高精密生產控制!
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Dektak XTL™ 以 50 多年的探針式輪廓儀的專業知識和生產設施的應用程序定製爲基礎，以滿足當今和未來嚴格的行業路線圖。300毫米高精度編碼 XY樣品臺爲製造商提供了滿足嚴格計量研發要求的可靠工具。該系統的大型聯鎖門爲樣品裝載/卸載提供了安全、方便的訪問。
其他硬件功能包括：
• 單拱形架構和集成振動隔離系統，實現行業領先的性能
• 快速更換自對齊探針
• 高精度編碼 XY 樣品臺，實現更快的自動數據收集
• N-Lite 低力，採用軟觸控技術，具有 1mm 測量範圍，可同時用於測量精密和高垂直範圍樣品
• 雙攝像頭控制與高清放大雙視場相機提供增強的空間感知。實時視頻中的點擊定位使操作員能夠快速將樣品移動到正確的位置，以便快速輕鬆地進行測量設置和自動化編程
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Dektak XTL 探針式輪廓儀新標桿
