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Denton Vacuum位於美國費城附近，是供應全球真空鍍膜設備製造商。50多年來，Denton設計和開發了精密塗層航太配件，先進光學，醫療植入物，太陽能電池，半導體器件等等的系統。Denton的客戶包括各個産業領頭的公司以及全球最著名的大學和研究機構。

Production Proven Platforms

Integrity 蒸發	• 　離子源 • 　氧含量探測器 • 　無渣設計	• 　批量生産 • 　行星夾具 • 　單向旋轉 • 　翻轉夾具
Voyager 等離子體離子束輔助化學氣相沈積	• 　離子源 • 　氧含量探測器 • 　質子交換膜(磁控)	• 　小批量生産 • 　研究與試驗發展 • 　晶圓和襯底
Discovery 濺射	• 　質子交換膜 • 　雙重准直 • 　 3維樣品	• 　小批量生産 • 　可選無預真空室 • 　可選單襯底預真空室 • 　可選晶圓盒預真空室
Infinity 離子束	• 　偏壓靶濺射 • 　偏壓襯底刻蝕	• 　小批量生産 • 　研究與試驗發展 • 　可選單襯底預真空室 • 　可選晶圓盒預真空室
Phoenix 在線設備	• 　線性離子源 • 　氧含量探測器 • 　質子交換膜(線性磁控)	• 　大批量生産 • 　大面積襯底 • 　預真空室 • 　磁控濺射&等離子體離子束輔助化學氣相沈積
Versa 組合設備	• 　自動化 • 　襯底操縱 • 　混合模式	• 　大批量生産 • 　晶圓&小面積襯底 • 　預真空室 • 　磁控濺射&等離子體離子束輔助化

美国 Denton Vacuum - 蒸镀及溅镀系统

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