Veeco

​Veeco(Cambridge Nanotech),2003年成立於哈佛大學,05年搬到Boston並生產出Thermal ALD - Savannah,之後生產出Plasma ALD – Fuji、批量生產ALD-Phoenix。2017年被Veeco收購,並更新了Batch HVM ALD – Firebird。至今為止,Veeco在ALD設備已有十多年經驗,全球已安裝五百多台ALD設備。


 
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美國 Veeco - TEM鍍HfO機

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