Veeco

Veeco (Cambridge Nanotech)，2003年成立於哈佛大學，05年搬到Boston並生產Thermal ALD - Savannah，之後生產Plasma ALD – Fuji、大量生產ALD-Phoenix。 2017年被Veeco收購，並更新了Fiji XT。至今為止，Veeco在ALD設備已有十多年經驗，全球已安裝五百多台ALD設備。