Veeco

Veeco　(Cambridge　Nanotech)，2003年成立于哈佛大學，05年搬到Boston並生産推出Thermal　ALD-Savannah機型，之後再生産推出Plasma　ALD-F機型、批量生産ALD-Phoenix機型。2017年被Veeco收購，隨後對旗下機型作出了升級叠代。至今爲止，Veeco在ALD設備已有十多年經驗，全球已安裝五百多台ALD設備。