KAYAKU - 光刻膠干膜

 

KPM-500 DFR - 晶圓黏合材干膜  新!

 

材料說明:

KPM-500 DFR 是一種光敏永久負型干膜抗蝕劑。采用低鹵環氧樹脂和無銻配方。KPM-500 DFR 可制造化學和熱穩定結構,如用於傳感器封裝的腔壁,及用於微流體裝置的蓋子。

 

主要特點:

• 無銻低鹵素

• 開發了水性 TMAH

• 負型可圖案化干膜黏合劑,用於永久性晶圓黏合

• 對矽和玻璃具有出色的附著力

• 低技術溫度,180℃ 完全固化快速無空隙鍵合(150°C,10.2kN)

• 使用寬帶或 i-line 曝光工具進行圖案化

 


SU-8 3000CF - 永久負型光刻膠干膜

 

SU-8 3000CF 是一種光敏永久性負型干膜。SU-8 3000CF 干膜采用低鹵環氧樹脂,無銻設計,可應用於腔體封裝和微流體裝置蓋中,制造化學和熱穩定結構。

 

特色:

• 無銻

• 低鹵素 (總氯 <900 ppm)

• 低金屬腐蝕

• 優異的解析度和高縱橫比垂直輪廓 ( >3,20μm 膜厚度)

• 優異的熱穩定性

• 制程溫度低,吸水率低

• 通過可靠度測試 (HAST 85ºC/RH 85%,168 hrs)

 

應用:

• 用於 SAW 濾波器,BAW 濾波器和感測器的腔晶圓級體封裝

• 微流體的 3D 結構

 


 

KAYAKU - 光刻膠干膜

  • 品 牌 NIPPON KAYAKU
  • 型 號 NIPPON KAYAKU - KPM-500 DFR
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