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OAI - 曝光机 / 光源/ 光功率計及分析

OAI是业内生产可靠并精密设备的MEMS,半导体,纳米技术,洁净室自动化和紫外线光测量的领先制造商。 OAI系统可同时用于研发和生产半导体,MEMS和微流体装置。从光罩对准和UV光源UV电力仪表,OAI是在同行业中的领先者超过40年。

 

OAI Series 6000 生产型曝光机

 

全面的曝光系统

 0.5μ 精确正面对准
 1μ 正反面对准
 高产量:170 WPH in 1st Mask Mode
 均匀性优于±3%
  适用于各种规格的晶片
 自动平衡补偿
  适用于超强工艺的重复性要求
  亚微米分辨率

 

OAI在MEMS和微流体装置方面的产品主要包括 :