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Veeco - 全自動原子層沉積(ALD)系統

 

美國 Veeco
全自動原子層沉積(ALD)系統
Veeco(之前稱之為Cambridge Nanotech)已經有15年以上的ALD研發生產經驗
2003年Cambridge Nanotech成立於哈佛大學,05年搬到Boston並生產出Thermal ALD - Savannah,之后生產出Plasma ALD – Fuji、批量生產ALD-Phoenix。2017年被Veeco收購,並更新了Batch HVM ALD – Firebird。至今為止,Veeco在ALD設備已有15年多的經驗,全球已安裝五百多台ALD設備。